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FUJI富士

分密度計(jì)(專用機(jī)) FUD-1 Model-53

產(chǎn)品概覽在保持 FUD-1 Model-53 的優(yōu)點(diǎn)(例如易于維護(hù)和高精度在線測量)的同時(shí),該型號具有用于半導(dǎo)體制造過程的小電池型發(fā)射器。圖表FUD-1 Model-53內(nèi)置電導(dǎo)率儀多組分密度計(jì)的特點(diǎn)3成分中的2成分濃度計(jì)端可以實(shí)時(shí)進(jìn)行配備模擬 DC4 至 20mA(2 個(gè)系統(tǒng))和數(shù)字 RS232C 作為標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備標(biāo)配測量誤差輸出和報(bào)警輸出標(biāo)配自診斷功能和錯誤信息顯示小巧輕便的電池型變送器可直接安裝

  • 型號:
產(chǎn)品概覽

在保持 FUD-1 Model-53 的優(yōu)點(diǎn)(例如易于維護(hù)和高精度在線測量)的同時(shí),該型號具有用于半導(dǎo)體制造過程的小電池型發(fā)射器。

圖表

FUD-1 Model-53內(nèi)置電導(dǎo)率儀
多組分密度計(jì)(專用)

多組分密度計(jì)的特點(diǎn)

3成分中的2成分濃度計(jì)端可以實(shí)時(shí)進(jìn)行

  • 配備模擬 DC4 至 20mA(2 個(gè)系統(tǒng))和數(shù)字 RS232C 作為標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備

  • 標(biāo)配測量誤差輸出和報(bào)警輸出

  • 標(biāo)配自診斷功能和錯誤信息顯示

  • 小巧輕便的電池型變送器可直接安裝在線路上

  • 接液部分材料采用PFA,小輸出設(shè)計(jì)對化學(xué)品無影響


優(yōu)點(diǎn)

  • 可以進(jìn)行高精度的連續(xù)測量

  • 免維護(hù),無需定期調(diào)整或校準(zhǔn)

  • 安裝方便,安裝時(shí)無需進(jìn)行各種調(diào)整

  • 通過實(shí)時(shí)輸出輕松反饋過程


用法

  • CMP工藝中的CMP漿料和氧化劑濃度管理等

  • 清洗過程中的清洗液濃度管理(HF+HNO3、HF+H2SiF6等)

  • 刻蝕工藝中的刻蝕液濃度管理(TMAH+抗蝕劑、TMAH+Si等)




規(guī)格

模型FUD-1 Model-53
 轉(zhuǎn)換器
測量參數(shù)超聲波傳播速度/溫度/電導(dǎo)率
展示LCD(濃度1、濃度2、溫度、聲速、電導(dǎo)率/各種參數(shù))
輸出信號模擬4~20mA DC:2個(gè)系統(tǒng)(濃度值可自由設(shè)定)
數(shù)字RS232C(濃度1、濃度2、聲速、溫度、電導(dǎo)率、錯誤代碼)
報(bào)警上下限測量誤差:2個(gè)系統(tǒng)
電源AC100V-240V 50/60Hz 30VA(也可使用24V DC)
結(jié)構(gòu)面板安裝型(符合 DIN 標(biāo)準(zhǔn))
環(huán)境溫度轉(zhuǎn)換器0 至 50°C
RH85%以下(無結(jié)露)
功能輸出量程設(shè)定功能、報(bào)警輸出設(shè)定功能、濃度顯示移動平均功能、濃度顯示偏置增益設(shè)定功能、自診斷功能、故障安全功能、異常值消除功能、溫度時(shí)間常數(shù)校正
選項(xiàng)溫度輸出(4 至 20mA DC)
RS485 輸出(不能與 RS232C 同時(shí)輸出)
通道(校準(zhǔn)曲線)最大 7ch
兼容變送器示例SA-20S29+電導(dǎo)儀、SA-20S27+電導(dǎo)儀



 模型 發(fā)射機(jī)
SA-20S29+電導(dǎo)率儀
SA-20S27+電導(dǎo)率儀
 振動元件 壓電陶瓷(2MHz)x1壓電陶瓷(2MHz)x2
 測量元件 熱敏電阻熱敏電阻
 液體溫度 0 至 100°C 0 至 80°C
 結(jié)構(gòu) 流通池 流通池
 接液部分材料 PFA/PFA涂層 粉煤灰
 聯(lián)合的 3/4 接頭(可更換) 3/4 接頭(可更換)
 耐壓性 0.3MPa 0.3MPa
 流速 5l/min(推薦) 5l/min(推薦)
 重量 2.5公斤 2.5公斤
 電纜 專用電纜 6m專用電纜 6m
 環(huán)境溫度 5 至 45°C 5 至 45°C


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