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FUJI富士

分密度計(jì)(專用機(jī)) FUD-1 Model-13

產(chǎn)品概覽在保持 FUD-1 Model-13 的優(yōu)點(diǎn)(例如可維護(hù)性和高精度在線測(cè)量)的同時(shí),該型號(hào)具有用于半導(dǎo)體制造過(guò)程的小單元型發(fā)射器。圖表FUD-1 Model-13 *以下為配置示例單組分密度計(jì)的特點(diǎn)可實(shí)時(shí)測(cè)量濃度,易于構(gòu)建濃度控制系統(tǒng)。標(biāo)配模擬 DC4 至 20mA 和數(shù)字 RS232C標(biāo)配測(cè)量誤差輸出和報(bào)警輸出標(biāo)配自診斷功能和錯(cuò)誤信息顯示小巧輕便的電池型變送器可直接安裝在線路上接液部分材

  • 型號(hào):
產(chǎn)品概覽

在保持 FUD-1 Model-13 的優(yōu)點(diǎn)(例如可維護(hù)性和高精度在線測(cè)量)的同時(shí),該型號(hào)具有用于半導(dǎo)體制造過(guò)程的小單元型發(fā)射器。

圖表

FUD-1 Model-13 *以下為配置示例
單組份密度計(jì)(專用)

單組分密度計(jì)的特點(diǎn)

可實(shí)時(shí)測(cè)量濃度,易于構(gòu)建濃度控制系統(tǒng)。

  • 標(biāo)配模擬 DC4 至 20mA 和數(shù)字 RS232C

  • 標(biāo)配測(cè)量誤差輸出和報(bào)警輸出

  • 標(biāo)配自診斷功能和錯(cuò)誤信息顯示

  • 小巧輕便的電池型變送器可直接安裝在線路上

  • 接液部分材料采用PFA,小輸出設(shè)計(jì)對(duì)化學(xué)品無(wú)影響


優(yōu)點(diǎn)

  • 可以進(jìn)行高精度的連續(xù)測(cè)量

  • 免維護(hù),無(wú)需定期調(diào)整或校準(zhǔn)

  • 安裝方便,安裝時(shí)無(wú)需進(jìn)行各種調(diào)整

  • 通過(guò)實(shí)時(shí)輸出輕松反饋過(guò)程


用法

  • CMP工藝中的CMP漿料或氧化劑濃度管理等。

  • 稀釋過(guò)程中各種化學(xué)品的濃度管理(H2O2、TMAH、HNO3、H2SO4、HCl等)

  • 清洗過(guò)程中的清洗液濃度管理(HF、NH4OH、KOH、IPA等)

  • 蝕刻過(guò)程中的蝕刻液濃度管理(HF、H2SO4等)




規(guī)格

格式FUD-1 Model-13
測(cè)量參數(shù)超聲波傳播速度/溫度
展示LCD(濃度、溫度、聲速、各種參數(shù))
輸出信號(hào)模擬4~20mA DC(濃度值可自由設(shè)定)
數(shù)字RS232C(濃度、溫度、聲速、錯(cuò)誤代碼)
報(bào)警 上下限測(cè)量錯(cuò)誤
電源100V 至 240V AC 50/60Hz(也可使用 24V DC)
結(jié)構(gòu)面板安裝型(符合DIN標(biāo)準(zhǔn))、面板安裝型(可選裝防雨外殼)
環(huán)境溫度0 至 50°C RH85% 或更低(無(wú)結(jié)露)
0 至 100°C 特殊規(guī)格 -10 至 160°C(100°C 范圍)
功能輸出量程設(shè)定、報(bào)警輸出設(shè)定、濃度顯示移動(dòng)平均、濃度顯示偏置增益設(shè)定功能、自診斷功能、故障安全功能、異常值解除
RS485輸出(不能與RS232C同時(shí)輸出)
選項(xiàng)溫度輸出(4 至 20mA DC)
渠道多達(dá) 10 個(gè)通道
適用變送器型號(hào) 13 : SA-20S26/SA-20S27/SA-20M5


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