產(chǎn)品概覽
在保持 FUD-1 Model-13 的優(yōu)點(diǎn)(例如可維護(hù)性和高精度在線測(cè)量)的同時(shí),該型號(hào)具有用于半導(dǎo)體制造過(guò)程的小單元型發(fā)射器。
圖表
FUD-1 Model-13 *以下為配置示例

單組分密度計(jì)的特點(diǎn)可實(shí)時(shí)測(cè)量濃度,易于構(gòu)建濃度控制系統(tǒng)。 標(biāo)配模擬 DC4 至 20mA 和數(shù)字 RS232C 標(biāo)配測(cè)量誤差輸出和報(bào)警輸出 標(biāo)配自診斷功能和錯(cuò)誤信息顯示 小巧輕便的電池型變送器可直接安裝在線路上 接液部分材料采用PFA,小輸出設(shè)計(jì)對(duì)化學(xué)品無(wú)影響
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| 優(yōu)點(diǎn)可以進(jìn)行高精度的連續(xù)測(cè)量 免維護(hù),無(wú)需定期調(diào)整或校準(zhǔn) 安裝方便,安裝時(shí)無(wú)需進(jìn)行各種調(diào)整 通過(guò)實(shí)時(shí)輸出輕松反饋過(guò)程
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用法CMP工藝中的CMP漿料或氧化劑濃度管理等。 稀釋過(guò)程中各種化學(xué)品的濃度管理(H2O2、TMAH、HNO3、H2SO4、HCl等) 清洗過(guò)程中的清洗液濃度管理(HF、NH4OH、KOH、IPA等) 蝕刻過(guò)程中的蝕刻液濃度管理(HF、H2SO4等)
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規(guī)格
格式 | FUD-1 Model-13 |
測(cè)量參數(shù) | 超聲波傳播速度/溫度 |
展示 | LCD(濃度、溫度、聲速、各種參數(shù)) |
輸出信號(hào) | 模擬4~20mA DC(濃度值可自由設(shè)定) 數(shù)字RS232C(濃度、溫度、聲速、錯(cuò)誤代碼) 報(bào)警 上下限測(cè)量錯(cuò)誤 |
電源 | 100V 至 240V AC 50/60Hz(也可使用 24V DC) |
結(jié)構(gòu) | 面板安裝型(符合DIN標(biāo)準(zhǔn))、面板安裝型(可選裝防雨外殼) |
環(huán)境溫度 | 0 至 50°C RH85% 或更低(無(wú)結(jié)露) 0 至 100°C 特殊規(guī)格 -10 至 160°C(100°C 范圍) |
功能 | 輸出量程設(shè)定、報(bào)警輸出設(shè)定、濃度顯示移動(dòng)平均、濃度顯示偏置增益設(shè)定功能、自診斷功能、故障安全功能、異常值解除 RS485輸出(不能與RS232C同時(shí)輸出) |
選項(xiàng) | 溫度輸出(4 至 20mA DC) |
渠道 | 多達(dá) 10 個(gè)通道 |
適用變送器 | 型號(hào) 13 : SA-20S26/SA-20S27/SA-20M5 |