日本MITSUIELECTRIC三井電氣單晶圓涂布機(jī)設(shè)備規(guī)格涂布速度20~200米/分涂層尺寸W300×D460涂裝方式刀片、線棒、刀片+線棒空氣0.5Mpa涂裝臺(tái)硅橡膠板涂布臺(tái)尺寸W242×D362×10t設(shè)備尺寸W1100×D2880×H2012控制面板尺寸W600×D350×H1900電源AC200V～220V 50/60Hz 125A熱風(fēng)發(fā)生器熱風(fēng)溫度~200℃（烘房）空氣流動(dòng)14M2線棒
日本MITSUIELECTRIC三井電氣單晶圓涂布機(jī)
| 設(shè)備規(guī)格 | 涂布速度 | 20~200米/分 |
|---|---|---|
| 涂層尺寸 | W300×D460 | |
| 涂裝方式 | 刀片、線棒、 刀片+線棒 | |
| 空氣 | 0.5Mpa | |
| 涂裝臺(tái) | 硅橡膠板 | |
| 涂布臺(tái)尺寸 | W242×D362×10t | |
| 設(shè)備尺寸 | W1100×D2880×H2012 | |
| 控制面板尺寸 | W600×D350×H1900 | |
| 電源 | AC200V～220V 50/ 60Hz 125A | |
| 熱風(fēng)發(fā)生器 | 熱風(fēng)溫度 | ~200℃（烘房） |
| 空氣流動(dòng) | 14M2 | |
| 線棒涂布機(jī)頭 | 批量直徑 | 1/2 英寸 |
| 線面長度 | 300mm | |
| 刮刀涂布機(jī)頭 | 刀刃 | 0.18t瑞典鋼 |
| 角度設(shè)置 | 用導(dǎo)向架設(shè)置 15?30?45?60 度 |
