NanoFocus - 半導體晶圓檢測設(shè)備（人工裝載） 型號：μsprint hp-hsi 2000
產(chǎn)品概述：● 高成本效益設(shè)備。● 一次掃描涵蓋所有凸塊，產(chǎn)出真實3D數(shù)據(jù)。● 適用于SEMI標準?！?適用于所有基板類型?！?C4, solder ball, Cu-pillars, SRO, …?！?適用于4”，6”，8”晶圓 ?！?工業(yè)標準數(shù)據(jù)端口。
- 型號：
產(chǎn)品概述：
● 高成本效益設(shè)備。
● 一次掃描涵蓋所有凸塊，產(chǎn)出真實3D數(shù)據(jù)。
● 適用于SEMI標準。
● 適用于所有基板類型。
● C4, solder ball, Cu-pillars, SRO, …。
● 適用于4”，6”，8”晶圓 。
● 工業(yè)標準數(shù)據(jù)端口。
NanoFocus半導體晶圓檢測設(shè)備（人工裝載）產(chǎn)品參數(shù)
分辨率 | X & Y軸: 0.5-2.5um; |
|---|---|
Z軸：0.016 um; | |
取樣率 | 20000 Hz |
工作距離 | 8 mm |
掃描寬度 | 630 um |
高度范圍 | 300 um – 400 um |
機臺尺寸 | 400mm x 400mm（可定制） |