KOSAKA 臺階儀 - 薄膜測厚儀 - 微細(xì)形狀測定機 型號:ET10000
產(chǎn)品概述:● 對應(yīng)大面積樣品段差測定的全自動機型?!?機臺尺寸可根據(jù)樣品/工件尺寸訂制。● 針對生產(chǎn)線全自動大型工件開發(fā),可搭配機械手臂自動進(jìn)退樣品。臺階儀/膜厚儀ET10000產(chǎn)品參數(shù)重現(xiàn)性1σ 1nm測定范圍Z:100um分解能Z:0.1nm X:0.1um測定力0.5UN~500UN (0.05mg-50mg)
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