產(chǎn)品概述：● 高精度．安定性．機能性卓越適合于FPD基板·晶圓硬盤等的微細形狀、段差、粗度測定的機型?！?是多機能的全自動微細形狀測定機，針對用途及樣品尺寸有多種機型可供選擇?！?ET4000A/ ET4000AK一可實現(xiàn)2D/3D表面形狀測量。● ET4000M一高性能的泛用微細形狀測定機?！?ET4000L一對應(yīng)大型工件的全自動微細形狀測定機?！?ET4300一適合12"樣品測量?！?/p>
產(chǎn)品概述：
● 高精度．安定性．機能性卓越適合于FPD基板·晶圓硬盤等的微細形狀、段差、粗度測定的機型。
● 是多機能的全自動微細形狀測定機，針對用途及樣品尺寸有多種機型可供選擇。
● ET4000A/ ET4000AK一可實現(xiàn)2D/3D表面形狀測量。
● ET4000M一高性能的泛用微細形狀測定機。
● ET4300一適合12"樣品測量。
●各機型詳細參數(shù)請與區(qū)域銷售聯(lián)系。
臺階儀/膜厚儀ET4000系列產(chǎn)品參數(shù)
| 最大試片尺寸 | 210×210mm~300×400mm |
|---|---|
| 重現(xiàn)性 | 1σ 0.5nm以內(nèi) |
| 測定范圍 | Z:100um X:100～305mm (Y移動量:150~400mm) |
| 分解能 | Z:0.1nm X:0.1um |
| 測定力 | 0.5UN~500UN (0.05mg-50mg) |
臺階儀可以應(yīng)用在半導(dǎo)體，光伏/太陽能，光電子，化合物半導(dǎo)體，OLED，生物醫(yī)藥，PCB封裝等領(lǐng)域的薄膜厚度，臺階儀測量薄膜厚度,臺階高度，粗糙度（Ra,Rq,Rmax...），劃痕深度，磨損深度，薄膜應(yīng)力（曲定量率半徑法）等定量測量方面。其高精度，高重復(fù)性，自動探索樣品表面
