特征
?配備紫外線照射控制信號(hào)的紫外線光度計(jì)。
?具備10路光量設(shè)定、光量測(cè)定、照度測(cè)定定時(shí)器設(shè)定、時(shí)間測(cè)定等多功能。
?即使在光強(qiáng)度測(cè)量過(guò)程中,也可以切換顯示,例如切換到照度或時(shí)間顯示。
?可以根據(jù)用途選擇內(nèi)置型UV-M10-P和桌面型UV-M10-S兩種類型。(照片為桌面型。)
?接收器標(biāo)準(zhǔn)設(shè)置為UV-35。通過(guò)更換可選接收器可以測(cè)量 UV-25 和 UV-42。

規(guī)格
接收者 | UV-35 (UV-SN35, UV-SD35) |
測(cè)量光強(qiáng)范圍 | 0.01~999.9mJ/c㎡ |
計(jì)時(shí)器 | 0.01 至 999.9 秒 |
照明 | 可切換 范圍 1 0.01 至 10.00 范圍 2 0.1 至 50.0mW/c㎡ |
可用范圍 | 主機(jī) 0 至 40°C 接收器 0 至 60°C |
電源 | AC85-264V, 47-63Hz |
輸入/輸出信號(hào) (D-sub 連接器) | 輸入 (1) 遠(yuǎn)程啟動(dòng) (2) 遠(yuǎn)程停止 繼電器觸點(diǎn)輸出 (1) NO(啟動(dòng)時(shí)開啟) (2) NC (3) 警報(bào) |
對(duì)準(zhǔn)精度 | 與我們的紫外線標(biāo)準(zhǔn)相比,在 ±2% 以內(nèi) |
重復(fù)性 | ±1.0以內(nèi) |
照度計(jì)采樣時(shí)間 | 1秒 |
尺寸 | 機(jī)身 207(W)×166(D)×80(H)mm 接收器 35(W)×55(D)×18(H)mm |
選項(xiàng) | 中性過(guò)濾器 耐熱傳感器代碼 接收器 UV-25、UV-42 |
SD型和SN型
SD型已被長(zhǎng)期使用曝光設(shè)備和輻照設(shè)備的客戶廣泛采用,確保了過(guò)程管理的連續(xù)性。
SD 型適用于在半導(dǎo)體和液晶基板的制造過(guò)程中已經(jīng)使用其他公司的照度計(jì),并重視確保與這些測(cè)量?jī)x器(投影型曝光設(shè)備)的數(shù)據(jù)兼容性的客戶。用于液晶基板的曝光設(shè)備和周邊曝光設(shè)備),以及完全不熟悉使用照度計(jì)的客戶。
關(guān)于 SD 類型和 SN 類型指示值
為保證舊工藝數(shù)據(jù)的兼容性,SN型指示值為SD型。調(diào)整為顯示比當(dāng)時(shí)指示的照度值高39%:mW/cm2顯示)。
