日本KISHIYAMA柏山工業(yè)株式會(huì)社 干式真空泵“SDL系列”

對(duì)于硬過(guò)程！用于大尺寸晶圓和 FPD 基板的大排量泵

“SDL系列”
是樫山工業(yè)的干式真空泵，在半導(dǎo)體和液晶制造等廣泛領(lǐng)域贏得了高度信賴。

對(duì)應(yīng)wafer和FPD的大型化。
通過(guò)組合可實(shí)現(xiàn)大排量，滿足150,000L/min以上的需求。

此外，通過(guò)確保大氣側(cè)的排氣速度，
大型負(fù)載鎖定室的高速排氣縮短了節(jié)拍時(shí)間。

溶劑排放規(guī)格也可提供，因此請(qǐng)與我們聯(lián)系。

[特長(zhǎng)]
■硬工序用
■大型晶圓、FPD對(duì)應(yīng)
■節(jié)拍時(shí)間縮短

*詳情請(qǐng)參考PDF文件或隨時(shí)咨詢。

基本信息干式真空泵“SDL系列”

【ラインアップ】
■SDL12E50
■SDL20E50
■SDL36M60
■SDL40E60
■SDL40E201
■SDL40EW201
■SDL80201

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お?dú)葺Xにお問(wèn)い合わせ下さい。