高強(qiáng)度鹵素光源裝置是一種宏觀觀察照明裝置，用于檢測(cè)
最終精加工表面的異物、劃痕、拋光不均勻、霧度和滑動(dòng)等各種缺陷，這是半導(dǎo)體晶圓加工過(guò)程中需要人力最多的，液晶基板
...　1、可在400,000Lx以上照射樣品表面。

　　2. 采用鹵素?zé)糇鳛楣庠矗珳馗?，照度均?/span>
　　　　，提供非常穩(wěn)定和清晰的照明。 　　　　3、采用冷鏡，熱量的影響極大地降低

　　到傳統(tǒng)鋁鏡的1/3 。 　　4. 二級(jí)切換機(jī)構(gòu)，可一鍵切換高照度觀察和低照度觀察 　　　　。 　　　　YP-150I???照度范圍φ30 　　　　YP-250I???照度范圍φ60 　　　　（YP-250I可選擇螺旋槳風(fēng)扇型和管道風(fēng)扇型。）