氣動波紋管泵FS-H系列IWAKI易威奇
通過高速行程實現(xiàn)了小型、輕量、低成本。

■高速行程
■無污染
■液體溫度范圍寬/排出壓力高

基本信息氣動波紋管泵FS-H系列

[特點]
■高速沖程
該泵具有高速沖程（最大240 spm），使其結構緊湊、重量輕、成本低，并減少了脈動。

■無污染
所有接液部件均由氟樹脂制成。泵的外周也采用無暴露金屬的設計，例如氟樹脂涂層。此外，使用獨特開發(fā)的軸封（專利）進一步減少了顆粒的產(chǎn)生。

■液體溫度范圍寬/排出壓力高
液體溫度范圍為5～180℃，排出壓力可達0.45MPa，因此不僅可用于清洗工序、CMP工序，還可用于化學供給工序。