Iwaki 氣動點膠機 SB 系列IWAKI易威奇

非常適合半導(dǎo)體制造工藝中的抗蝕劑涂層工藝。

“易威奇氣動點膠機SB系列”是一款可以滿足半導(dǎo)體制造工藝的抗蝕劑涂敷工藝等各種需求的泵。


■□■特點■□■

■高精度地測量和分配高精度
光刻膠和其他化學(xué)溶液。
為了優(yōu)化滴落的抗蝕劑量，提高了每次噴射的點膠精度，并安裝了回吸裝置（可選）以防止抗蝕劑從排出端滴落。
波紋管內(nèi)部死體積極小，該結(jié)構(gòu)可防止液體停滯。
采用無密封結(jié)構(gòu)和低速氣缸，可低速注入抗蝕劑。
防止空氣進入光刻膠。

■不銹鋼/氟樹脂
接液部件材料有不銹鋼（SUS304）和氟樹脂（PTFE、PFA）類型。具有優(yōu)異的耐腐蝕性，可安全用于高分辨率、高純度光刻膠等液體質(zhì)量控制，無液體污染。

■輕巧緊湊的設(shè)計
該泵可以立式或臥式安裝。
（SB-4K/5/6 除外。）
可以選擇最適合系統(tǒng)集成的形狀。

*如需了解更多信息，請下載 PDF 或隨時聯(lián)系我們。

基本信息Iwaki 氣動點膠機 SB 系列

[泵的一般規(guī)格]
■最大吐出量：100mL/沖程
■最大吐出壓力范圍：0.05～0.1MPa
■供氣壓力范圍：0.15～0.5MPa
■最大空氣消耗量：1.0NL/沖程
■主要材質(zhì)：SUS304 / PTFE ，PFA
■液體溫度范圍：20 – 60℃

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