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武漢華星光電半導(dǎo)體芯片制造業(yè)的地震監(jiān)測(cè)案例

2022-03-16 11:31:44

半導(dǎo)體芯片制造業(yè)的地震監(jiān)測(cè)

除了破壞性的地震外,平時(shí)經(jīng)常會(huì)發(fā)生一些小的地震,甚至我們完全感覺(jué)不到。但在譬如微處理器、閃存芯片和CMOS傳感器等高端半導(dǎo)體芯片制造生產(chǎn)線上,是不允許有任何的地震的,因?yàn)榧幢阄⑿〉牡卣穑矔?huì)影響到生產(chǎn)工藝,導(dǎo)致不合格品的增加。因此,有必要在微小的地震發(fā)生時(shí)及時(shí)的停止芯片的生產(chǎn)工序,直到地震結(jié)束才可繼續(xù)生產(chǎn)。IMV的地震監(jiān)測(cè)儀可以即時(shí)監(jiān)測(cè)到微小的地震,并將控制信號(hào)輸出到生產(chǎn)線控制器上,保證了半導(dǎo)體芯片的安全生產(chǎn)。


圖片關(guān)鍵詞

特征

采用高精度伺服式傳感器

內(nèi)置型傳感器,體積小

防水構(gòu)造,適合任何場(chǎng)所

安裝固定操作簡(jiǎn)單

圖片關(guān)鍵詞

概要

此地震監(jiān)測(cè)裝置可以在地震發(fā)生時(shí)輸出警報(bào)進(jìn)行安全控制。與以往地震計(jì)的不同之處在于,采用了高精度伺服式傳感器。提升了地震監(jiān)測(cè)的可靠性。


穩(wěn)定的高精度監(jiān)測(cè)功能

為防止二次災(zāi)害發(fā)生的警報(bào)輸出功能如果精度不高的話,等于形同虛設(shè)。此地震監(jiān)測(cè)裝置采用的內(nèi)置型伺服式傳感器,可實(shí)時(shí)精確監(jiān)測(cè)微小振動(dòng)。顯示和警報(bào)設(shè)定也實(shí)現(xiàn)了1Gal 步進(jìn)。

Reliable Accuracy


可對(duì)應(yīng)大規(guī)模地震

3個(gè)方向都設(shè)置了傳感器,通過(guò)記錄向量合成后的加速度值,不論哪個(gè)方向的振動(dòng)都能得出最大值。另外,測(cè)量范圍可達(dá)到3000Gal,可對(duì)應(yīng)大規(guī)模地震。

Preparation for Large-scale Earthquakes


防水構(gòu)造適合任何場(chǎng)所

地震造成的振動(dòng)根據(jù)地面、地基、建筑物構(gòu)造以及樓層而不同。在地震中保護(hù)重要設(shè)備的話,最好是將地震監(jiān)測(cè)裝置安裝在設(shè)備的同一環(huán)境下,精確測(cè)量設(shè)備受到的振動(dòng)。因此我們采用了相當(dāng)于IP67標(biāo)準(zhǔn)的室外、粉塵環(huán)境下均可安裝的防水構(gòu)造。


Waterproof free from installation


安裝固定操作簡(jiǎn)單

以往的地震監(jiān)測(cè)裝置需要4個(gè)地腳螺栓固定,SW-72簡(jiǎn)化到2個(gè),在缺口孔處用固定螺栓非常方便。另外,裝置內(nèi)部采用了常見(jiàn)的DC24V電源。

Free from long-time installation works


設(shè)計(jì)精巧

顯示功能在保證地震發(fā)生時(shí)可以清楚確認(rèn)數(shù)值的前提下,盡量做到設(shè)計(jì)精致。不僅是尺寸變小,還將連接電纜接口位置調(diào)低,整體設(shè)計(jì)易于安裝節(jié)約空間。


外形尺寸:

Outward Drawing



測(cè)量方法通過(guò)向量合成進(jìn)行全方向無(wú)指向性測(cè)量
測(cè)量頻率范圍DC~10Hz(±10%)
加速度測(cè)量范圍0.5~3000Gal(X.Y.Z 3要素向量合成值)
低通濾波器30Hz(-3dB)、4階巴特沃斯特性
低通濾波器16bit、100Hz采樣率
顯示7段LED 顯示4位(xxx.x或xxxx)
警報(bào)級(jí)數(shù)上限3級(jí)(ALM1~3)個(gè)別設(shè)定
警報(bào)設(shè)定值加速度0.1~999.9Gal ※1
警報(bào)觸點(diǎn)1a觸點(diǎn)(光電繼電器、COM共同);獨(dú)立COM2點(diǎn)
警報(bào)復(fù)位方式a外部復(fù)位終端(通過(guò)關(guān)閉無(wú)電壓a觸點(diǎn)解除全段);b通過(guò)內(nèi)部定時(shí)器自動(dòng)復(fù)位(1~9999秒)
DC輸出DC4~20mA、負(fù)載0~300Ω;滿標(biāo)度值:10~3000Gal
串行1/F與SW-74SI通信(RS422標(biāo)準(zhǔn))
時(shí)鐘精度:70ppm(日差6秒)以下
時(shí)間校準(zhǔn)輸入±30秒修正(外部輸入無(wú)電壓a觸點(diǎn))
使用溫度范圍0~+50℃
使用濕度范圍10~100%RH
使用電源DC24V±10% ※2
耗電量10W以下
外形尺寸參照外形尺寸圖
結(jié)構(gòu)防水結(jié)構(gòu)(IP67)
材質(zhì)鋁合金壓鑄
外包裝色金屬銀
重量約4kg
安裝方法安裝在地面上(用地腳螺栓固定)
輸入/輸出電纜防水接口連接;使用富士電纜;測(cè)試設(shè)備的雙絞屏蔽線;外徑 約10.5mm

※1(設(shè)定間隔0.1Gal、0.0表示警報(bào)OFF)


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